量測與檢測設備廠致茂電子（2360）攜手工研院養小金雞！轉投資的新創公司兆晟奈米科技昨（24）日正式與工研院簽約技轉「新世代溶液奈米粒子監測系統（SuperSizer）」，致茂兼兆晟董事長黃欽明表示，未來兆晟將鎖定奈米檢測技術，集團母公司致茂也會一起在半導體前端製程打天下，技轉單位工研院量測中心更期許兆晟要成為漢微科第二。
致茂前三季合併營收達97億元，稅後淨利達17億元，較去年同期成長25％，至於10月營收15.66億元，也有年增94.17％的表現。
由於半導體IC的濕式製程中需要使用特定化學溶液清洗、蝕刻與研磨晶圓表面，化學溶液中的雜質會影響製程良率，而現階段多採用光學原理來量測化學溶液，極限只能看到20奈米，因此溶液的中微奈米氣泡常成為不容易發現的「老鼠屎」。但SuperSizer創新了量測方法，先將溶液氣霧化，再搭配電壓變化影響奈米粒子的移動，以及再次凝結經氣霧化的奈米粒子，便可精準量測溶液中粒子的粒徑大小與分布。
致茂也是相準了這點，才展開投資，黃欽明說，這個技術的測試結果令他相當佩服，也是讓他想要加以發揚光大的原因。在與工研院聯手創立了兆晟後，先以幫助台灣半導體廠提升良率為目標。除了半導體外，包括生醫、製藥都是可以應用的範圍。
工研院量測中心主任林增耀說，可視化、有價值的數據檢測，是改善良率的關鍵之一。SuperSizer不僅可以連續24小時線上監測研磨液、雙氧水及超純水等化學溶液中粒子的大小與濃度，可量測的粒子範圍達3～1千奈米，遠優於業界水準，而且半導體廠也不需要改變原本的製程。
黃欽明表示，兆晟將與致茂共同切入半導體前段製程檢測，並已獲准進入新竹科學園區，資本額將從2,000萬元增至2億元。目前半導體製程已推進至七奈米、三奈米，而良率更是先進製程的主戰場，如果可以有效監管、檢測雜散的奈米粒子、並加以控制，對半導體製程良率提升將有很大的貢獻。如果能幫助半導體製程良率提升1％，獲利將可提升8％，成果驚人。
